日本朝日分光光学膜厚仪OMD-1000产品介绍

发布日期：2022-03-02 浏览次数：864

日本朝日分光光学膜厚仪OMD-1000产品介绍



什么是 OMD-1000？

这是一种分光膜厚监测监视器，可在气相沉积过程中用单色光监测基板上的光量变化。也用于本公司自有的薄膜蒸镀装置，作为蒸镀部件制造商的专有技术，作为膜厚监测装置完成。

概述

全波长范围

以往机型的波长选择是滤光片型，但新产品搭载了本公司业绩良好的分光器，现在可以选择任意波长。
膜厚变化信号由电压输出转为与个人电脑兼容的数字输出，控制机构由手动操作转为个人电脑指令控制。此外，通过I/F直接与个人电脑连接，可以控制膜厚计主体，是一个非常紧凑的系统，不需要像其他制造商那样的控制器。

特征

• 带光谱仪的紧凑型设计

• 通过提高抗噪性实现高度可靠的膜厚监测（静电放电测试耐压±5 kV）

• 可通过来自 PC 的命令进行自动控制

• 通过将控制器集成到接收器主体中实现高性价比

产品规格

模型	OMD-1000
光谱仪类型	Czerny Turner 型单色
波长范围	保证范围：380 至 900 nm 可操作 范围：350 至 1100 nm
波长分辨率	狭缝 0.5mm：4.2nm [546nm] 狭缝 1.0mm：8.3nm [546nm]
波长精度	± 1.0 纳米
小波长馈电	0.1nm
外部控制	RS232C
外部输出端子	DC0-2V（满量程）
采样间隔	100ms 或更多
静电放电试验耐压	±5kV（实际8kV）
光源	12V100W卤素灯
光强度稳定性	±0.1%/小时以下
输入电压	AC100V 50 / 60Hz
允许输入电压	AC85-132V
视在功率	340VA以下
使用环境	温度10-35℃ 湿度20-80%

* 请注意，产品规格和外观如有更改，恕不另行通知。