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更新日期:2021-03-08
简要描述:
日本东丽toray氧气表MS-500
z多可以同时测量8个点
浓度范围从ppm到100均可显示。
非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
日本东丽toray氧气表MS-500
日本东丽toray氧气表MS-500
测量原理 |
氧化锆轻型电池 |
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形状 |
分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式) |
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显示方式 |
4位数字显示(密度显示) |
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测量范围 |
0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10-20〜10-0大气压 |
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重复性 |
在±0.5%FS 0-1%范围内或以上 |
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测量点数 |
1-8 |
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样气条件 |
压力 |
10-3至200 KPa(压力) |
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流量 |
0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量) |
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湿度 |
露点低于环境温度 |
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温度 |
0-100℃ |
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其他 |
不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。 |
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比较气 |
大气层 |
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记录仪输出 |
仅变速箱输出 |
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变速箱输出 |
RS-232C |
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报警输出 |
没有 |
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热身时间 |
6分钟以内 |
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尺寸 |
MS-500(控制器) |
92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起) |
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MS-510(转换器) |
100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起) |
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传感器单元 |
SD16NW |
总长100 mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51) |
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SD25NW |
总长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48) |
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SD40NW |
总长100 mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49) |
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大众 |
MS-500(控制器) |
约0.6Kg |
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MS-510(转换器) |
约0.5kg |
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传感器单元 |
SD16NW |
约0.2Kg |
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SD25NW |
约0.2Kg |
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SD40NW |
约0.35Kg |
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外部连接 |
真空法兰之一(NW16、25、40) |
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使用电源 |
24VDC±10% |