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日本芝浦电子shibaura罗茨泵 TMB系列

访问次数：741

更新日期：2020-10-26

简要描述：

日本芝浦电子shibaura罗茨泵 TMB系列
由于使用电机直接连接型，因此几乎不会产生灰尘。
减少振动和噪音
易于维护和检查的结构
逆变器控制（可选）可实现大气压下的排气

日本芝浦电子shibaura罗茨泵 TMB系列

详细介绍

日本芝浦电子shibaura罗茨泵 TMB系列

TMB系列的特点

由于使用电机直接连接型，因此几乎不会产生灰尘。
减少振动和噪音
易于维护和检查的结构
逆变器控制（可选）可实现大气压下的排气

TMB系列阵容

模型	类型	单位单位	TMB-302	TMB-600
设计排气速度	位移位移	50 Hz，m³/小时	250	500
设计排气速度	位移位移	60 Hz，m³/小时	300	600
到达压力	极限压力	帕	10^-2	10^-2
吸入侧临界压力	z大工作压力	50 Hz，m³/小时	2.7 2.7	2.7 2.7
吸入侧临界压力	z大工作压力	60 Hz，m³/小时	2	2
所需马达	发动机	V，相，千瓦	200、3、0.75	200、3、2.2
转速	转速	50 Hz，m³/小时	3,000	1,500
转速	转速	60 Hz，m³/小时	3,600	1,800
进气口	入口		VF-80	VF-80
排气口	出口		VF-80	VF-80
用油	泵油		露台油S46	露台油S46
油量	油容量	大号	1个	2.8
大众	大众	公斤	93	242
尺寸（宽x深x高）	尺寸尺寸	毫米	708 x 320 x 250	963 x 416 x 350
冷却方式	冷却系统		风冷	风冷
冷却水量	冷却水	升/分钟	---	---
辅助泵	后备泵		DRP-1500，RP-1200ZⅡ	DRP-1500

日本芝浦电子shibaura罗茨泵 TMB系列

模型	类型	单位单位	TMB-1500	TMB-2500
设计排气速度	位移位移	50 Hz，m³/小时	1,350	2,070
		60 Hz，m³/小时	1,630	2,500
到达压力	极限压力	帕	10^-2	10^-2
吸入侧临界压力	z大工作压力	50 Hz，m³/小时	2	2
		60 Hz，m³/小时	1.3 1.3	1.3 1.3
所需马达	发动机	V，相，千瓦	200、3、3.7	200、3、5.5
转速	转速	50 Hz，m³/小时	1,500	1,500
		60 Hz，m³/小时	1,800	1,800
进气口	入口		VF-150	VF-200
排气口	出口		VF-100	VF-100
用油	泵油		露台油S46	露台油S46
油量	油容量	大号	4.2	5.6
大众	大众	公斤	490	664
尺寸（宽x深x高）	尺寸尺寸	毫米	1,228 x 520 x 440	1,359 x 580 x 495
冷却方式	冷却系统		水冷	水冷
冷却水量	冷却水	升/分钟	---	---
辅助泵	后备泵		KP-4500BG	KP-7500BG

笔记

我们的罗茨真空泵是根据以下规格设计和制造的。
（1）吸入气体的种类空气和惰性气体（N₂，CO₂，He，Ne，Ar，Kr，Xe，Rn ･･）
（2）进气温度5-40℃
（3）环境温度
5-40 ℃ （4）常压泵压力约1.3k-10^-1Pa
（5）其他切勿施加大气压。切勿吸入水等液体。
*如果使用条件与上述条件不同，请与我们联xi。
在以下应用中使用时，标准真空泵会使油和腐蚀部件变质，导致排气性能下降，泵体寿命极短。
（1）腐蚀性气体（Cl₂，CCl₄，CF₄，BBr₃，HBr₄...）[示例]离子注入，蚀刻，CVD等。
*即使是特殊规格的真空泵，也具有易燃易爆性不要吸入强物质。
（2）起停次数多时

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