日本hrd-thermal测量薄膜和微小区域热导率热导气体分析仪

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更新日期：2022-10-13

简要描述：

日本hrd-thermal测量薄膜和微小区域热导率TM3
热物理性质显微镜是测量热渗透率的装置，热渗透率是热物理性质值之一。
它是一种可以通过点，线和表面来测量样品的热性能的设备。
也可以测量微米级的热物理性质值的分布，这在常规热物理性质测量设备中被认为是困难的。

日本hrd-thermal测量薄膜和微小区域热导率TM3

热物理显微镜的测量原理（概述）

在样品上形成金属薄膜，并用加热激光器定期加热。

名称/产品名称	热物理显微镜/热显微镜
测量方式	热物理性质分布测量（1维，2维，1点）
测量项目	热渗透率，（热扩散率），（热导率）
检测光斑直径	约3μm
1点测量标准时间	10秒
待测薄膜	厚度几百纳米到几十微米
重复精度	耐热玻璃，硅的热渗透率小于±10％
样品	1.样品架30mm x 30mm厚度5mm 2.板状样品30mm x 30mm以内，厚度3mm以内需要对样品表面进行镜面抛光。样品表面需要进行Mo溅射。
工作温度极限	24°C±1°C（根据设备中内置的温度传感器）
平台移动距离	・ X轴方向20mm ・ Y轴方向20mm ・ Z轴方向10mm
加热激光	半导体激光波长：808nm
检测激光	半导体激光波长：658nm
电源	交流100V 1.5kVA
标准配件	样品架，参考样品
选项	光学压盘，空调，空调房，飞溅装置