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更新日期：2022-07-18
简要描述：
日本napson非接触式涡流法电阻测量仪EC-80
简单的测量仪器，只需将样品插入探针之间即可进行测量
在电阻/薄层电阻测量模式之间轻松切换
日本napson非接触式涡流法电阻测量仪EC-80
测量目标
半导体/太阳能电池材料相关（硅，多晶硅，SiC等）
新材料/功能材料相关（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
导电薄膜相关（金属，ITO等）
硅基外延，离子与
半导体相关的进样样品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
其他（*请与我们联xi）
测量尺寸
〜8英寸，或〜156x156mm
日本napson非接触式涡流法电阻测量仪EC-80
测量范围
[电阻] 1m至200Ω·cm
（*所有探头类型的总范围/厚度500um）
[抗页电阻] 10m至3kΩ / sq
（*所有探头类型的总范围）
*有关每种探头类型的测量范围，请参阅以下内容。
（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）
