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更新日期：2023-04-12
简要描述：
日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
下一代湿法HORIBA通过控制化学药品浓度来提高产量并优化工艺。
为了在半导体制造过程中遵守严格的化学浓度控制，我们实现了满足现场需求的z佳功能，例如稳定的测量精度，考虑到工作安全性的*管道固定结构以及紧凑的设计。
| 品牌 | 其他品牌 | 仪器种类 | 便携式 |
|---|---|---|---|
| 产地 | 进口 |
日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
为了在半导体制造过程中遵守严格的化学浓度控制，我们实现了满足现场需求的z佳功能，例如稳定的测量精度，考虑到工作安全性的*管道固定结构以及紧凑的设计。
外部直接连接到PFA管道的*传感器结构消除了污染的风险。此外，它消除了安装传感器时的管道工作需求，并消除了化学泄漏等事故的风险。此外，通过更新传感器的光学系统，我们实现了小型化，同时保持了与常规产品（CS-600F* 1）相同的可重复性和稳定性。
高质量和稳定的测量
Contami风险为“零"
重现性和稳定性相当于传统产品CS-600F* 1
纠正由于液温变化而引起的显示器读数变化
采用HORIBA独chuang的算法来纠正气泡的影响
抑制振动效果
采用HORIBA独chuang的光学系统结构，可防止管道固定和未对准
节省空间
将光源和光谱仪集成到电池单元中
显示器使用面板安装类型（9.6厘米x 9.6厘米）
延长光源寿命
采用LED灯，使用寿命更长（5年保修）
改善工作安全
半年一次的BG校正周期
由于安装传感器时无需安装管道，因此降低了发生化学泄漏等事故的风险。
* 1 CS-600F是HORIBA的光纤型化学浓度监测仪。
■稳定性
测量条件
测量周期：每3秒测量时间：1小时
移动平均值：16次温度：室温管径：3/4英寸
样品浓度（在测量开始时）
NH3：0.95％H2O2：5.15％H2O ：93.9％
测量结果作为
样品（实际溶液）的1小时的测量结果，显示出良好的稳定性。
日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
产品名称 |
非接触式化学浓度监测仪CS-900 |
||||
模型 |
CS-900 |
||||
测量原理 |
吸收光谱 |
||||
浓度计算方法 |
温度补偿多元分析方法 |
||||
测量范围/ |
型号名称 |
成分名称 |
测量范围 |
重现精度 |
模拟量输出范围 |
CS-900-1P-1P25P5 |
NH3 |
0.00％-1.20％ |
±0.05％ |
0.00-10.00 |
|
H2O2 |
0.00％-5.50％ |
±0.10％ |
0.00-10.00 |
||
高氧2 |
93.3％-100.0％ |
±1.0％ |
--- |
||
CS-900-1P-P8P8 |
NH3 |
0.20％-0.80％ |
±0.03％ |
0.00-1.00 |
|
H2O2 |
0.20％-0.80％ |
±0.03％ |
0.00-1.00 |
||
高氧2 |
98.4％-99.6％ |
±0.3％ |
--- |
||
测量条件 |
1）测量周期：大约3秒 |
||||
管道* 1 |
PFA管道1英寸或3/4英寸 |
||||
样品溶液条件* 2 |
化学溶液温度：20-80°C化学 |
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电源供应 |
DC24V |
||||
消耗功率* 3 |
约30W |
||||
大众 |
显示：约0.9Kg |
||||
外形尺寸（宽x深x高） |
显示：96 x 135 x 96 mm |
||||
传感器单元安装角度 |
前后方向：±3度以内，左右方向：0-90度 |
||||
光源寿命 |
5年 |
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通讯 |
并行I / O，RS-232C，模拟输出 |
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