低膨胀膜/有机膜的厚度方向和低膨胀玻璃/金属的微小热膨胀可以以1nm的z
小分辨率进行检测。
测量热膨胀的方法包括推杆法,光学干涉法,远摄法和电容器法。
采用双光路迈克尔逊激光干涉测量技术,可实现z
精que
的测量。
通过采用零摩擦平移镜,可以通过简单地将样品端面加工成球形表面来容易地进行测量。
另外,可选的石英垫片可用于在改变温度的同时测量低膨胀膜所需的厚度方向。双光路迈克尔逊激光干涉式热膨胀仪LIX-2是业内
唯yi
的商用型号。