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日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC

访问次数:718

更新日期:2023-06-30

简要描述:

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC
使用磁控管阴极以减少离子损伤
排气→涂层→全自动,直到进入大气
磁控管阴极有助于生产高质量的溅射薄膜

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC
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日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC

特征


  • 使用磁控管阴极以减少离子损伤

  • 排气→涂层→全自动,直到进入大气

  • 磁控管阴极有助于生产高质量的溅射薄膜

  • 电极的溅射薄膜可以很容易地涂覆

应用/结果示例


  • 各种设备的电极膜附件

  • 用于制造反射薄膜等的应用

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC

基本规格


阴极 φ2英寸直流磁控管/ 2极面对电极
目标 包含金靶
膜厚设定方法 预设方法/带膜厚监视器的数字显示
气体导入机制 针阀
真空泵 直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏)
排气操作 自动的
箱体尺寸 内径φ120mm x D120 mm(SUS制)
样品交换方法 前门开合式
尺寸(宽/深/高) 主体:225/420 / 320mm
RP:300/160 / 200mm
重量 身体:15公斤
RP:9公斤


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