内置式陶瓷气体过滤器

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更新日期：2021-05-08

简要描述：

日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列
在超微LSI制造工艺中，要求必须将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说，管道系统的超净化亦是一大重点。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器，从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。

详细介绍

用途	过滤杂质

日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列

高过滤精度
在超微LSI制造工艺中，要求必须将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说，管道系统的超净化亦是一大重点。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器，从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。
蚀刻和薄膜形成时必不可缺的高选择性
在追求高选择性的过程中，极其重要的一点是去除水、氧气等不纯物的问题。为了切实地做到去除不纯物，首先必不可缺的，是在高温状态下进行烘烤。从该观点出发研制出的陶瓷过滤器可进行200℃的高温烘烤。
零维护实现成本削减
能够根据粒子粒径大小分阶段进行过滤的三层结构，因此几乎不会有堵塞的问题。并且与以往的过滤器相比，具有高耐久性、高耐热性特征的陶瓷过滤器不会在使用过程中出现故障。所以不会因生产线暂时中断而带来经济损失，并可长期持续地削减成本。

日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列

规格

过滤精度	0.003μm（但是，纯水过滤时は0.1μm）
推荐流量	10～200ℓ/min（各型号区别：参考流量特性曲线)
设计压力	17MPa (2,465PSIG) at20℃	本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是，依据日本国内的高压气体保安法，高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品，请询问我们。
常用压力	1MPa(145PSIG)未满
容许差压	9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
高连续使用温度	120℃
烘烤温度	200℃
外部泄漏量	2×10^-11Pa・m³/sec以下
构成材料	外罩：SUS316L　内表面粗糙度：Rmax0.7μm以下　元素：氧化铝陶瓷(Al2O3)　密封圈：PTFE
连接零件	1/4"、3/8"、1/2"、3/4"　Gasket seal、 Compression seal、UPG^®、其它

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