腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器

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更新日期：2022-08-03

简要描述：

日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列
半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并和少量的水分反应，形成腐蚀生成物。

详细介绍

类型	数字压力表

日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列

半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并和少量的水分反应，形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此，我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-601系列。

高耐腐蚀性
对应HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体，气体接触部分采用远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金®，并进行了电解研磨处理，充分发挥了其出色的耐腐蚀性能力。
高精度、高可靠性
直线性、滞后性、重复精度的影响造成和优拟合线的偏差为±0.25％，具备高精度和高可靠性。
测定范围宽
表压的压力范围从0～172.4KPA（1.76KGf/cm²）到20,684KPa（210KGf/cm²），压的压力范围为0～2,586torr。
使用寿命长
各测量范围都通过了100万次的循环耐久测试。

日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列

规格

型号		表压※						压
型号	PSI	25G	50G	100G	200G	500G	3000G	15A	25A	50A
压力范围	KPa	0～172.4	0～344.7	0～689.5	0～1,378.9	0～3,447.3	0～20,684	0～103.4	0～172.4	0～344.7
	kgf/cm²	0～1.76	0～3.52	0～7.03	0～14.06	0～35.16	0～210.9	-	-	-
	torr	-	-	-	-	-	-	0～776	0～1,293	0～2,586
精度（％全量程)		±0.5％		±0.25％				±0.5％

※所有的表压类型可以连成。

过载压力	全量程×2
激励电源电压	DC 5V(MAX 6V)
保存温度范围	-20℃～93℃（未通电）
温度补偿范围	-1℃～71℃
温度漂移	±0.05%　FS/℃
信号输出	100mV(20mV/V) ※25G ・50Gは、50mV(10mV/V)
跨度	100mV±15mV ※25G ・50Gは、50mV ± 15mV
偏移量	0mV ± 10mV
外部泄漏量	2×10^-11Pa・m³/sec
气体（液体）接触部分	哈司特镍合金^®
连接零件	1/4"　Gasket seal、 Compression seal、其它

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