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更新日期：2021-05-12
简要描述：
日本tsubosaka紫外线曝光机UVL-2
光刻工艺中的简单曝光印刷设备
台式和一体式，节省空间
通过安装微型计算机来精确控制照射时间
日本tsubosaka紫外线曝光机UVL-2
日本tsubosaka紫外线曝光机UVL-2
规格
| 模型 | UVL-2 |
|---|---|
| 光源 | 超高压汞灯 |
| 强度[mW /㎠] | 20 |
| 光通量 | 100 x 100（有效的80 x 80） |
| 照度不均匀度[±％] | 8 |
| 曝光时间 | 0.5 --99.9 |
| 样品架 | 固定型带平面微调机构 |
| 样品尺寸[mm x mm] | 100 x 100 |
| 尺寸[mm x mm] | 70 x 70 |
| 样品固定 | 塞子邻接方法 |
| 通讯接口 | RS-232C |
| 电源电压 | AC100V 50/60赫兹 |
| 消耗功率[VA] | 700 |
| 操作环境 | ・温度：5-35 [℃] ・湿度：80 [％]以下但是，不得结露。 |
| 尺寸（宽x高x深）[mm] | 350 x 790 x 350 |
