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单组分密度计

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更新日期:2022-07-12

简要描述:

日本富士工业fuji单组分密度计FUD-1 Model-130
该模型在保持FUD-1 Model-13的优势(例如可维护性和高精度的在线测量)的同时,还具有用于半导体制造过程的小型单元变送器。

单组分密度计
类型 其他 测量范围 10um

日本富士工业fuji单组分密度计FUD-1 Model-130

产品总览

该模型在保持FUD-1 Model-13的优势(例如可维护性和高精度的在线测量)的同时,还具有用于半导体制造过程的小型单元变送器。

单组分密度计的特点

可以进行实时浓度测量,并且很容易建立浓度控制系统。

  • 配备模拟DC 4至20mA和数字RS232C作为标准设备
  • 标配测量误差输出和报警输出
  • 配备自诊断功能和错误信息显示为标准配置
  • 小巧轻便的电池式变送器可以直接安装在生产线上
  • 由于使用PFA的润湿部件的质量和小产量设计,因此对化学溶液没有影响。

优点

  • 高精度连续测量
  • 免维护,无需定期调整和校准
  • 易于安装,无需在安装过程中进行各种调整
  • 通过实时输出轻松反馈到过程

用途

  • CMP过程中的CMP浆料或氧化剂浓度控制等
  • 控制稀释过程中各种化学品的浓度(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
  • 清洁过程中的清洁液浓度控制(HF,NH4OH,KOH,IP

日本富士工业fuji单组分密度计FUD-1 Model-130

规格

格式 FUD-1模型13
测量参数 超声波传播速度/温度
展示 LCD(浓度/温度/声速/各种参数)
输出信号 模拟DC4至20mA(可以自由设置浓度值)
数字RS232C(浓度/温度/声速/错误代码)
警报上/下限测量错误
电源供应 AC100V-240V 50 / 60Hz(也可以使用DC24V)
建造 面板安装类型(符合DIN标准),板载安装类型(可以选装在防雨箱中)
环境温度 0至50°C相对湿度85%以下(无冷凝)
0至100°C特殊规格-10至160°C(100°C宽度)
功能 输出范围设置,警报输出设置,浓度显示移动平均值,浓度显示偏移和增益设置功能,自诊断功能,故障保护功能,异常值取消
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
选项 温度输出(DC4-20mA)
渠道 高达10ch
兼容发射器 型号13SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5

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