反射/透射/薄膜厚度测量系统测厚仪

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更新日期：2023-10-14

简要描述：

日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度测量系统F10-RT
F10-RT 是一款集成了测量单元和测量台的紧凑型台式测量系统。可同时测量反射率和透射率，并可轻松分析膜厚、折射率和消光系数。
只需一根 USB 线和电源线即可轻松连接，无需调整光学系统，无需复杂的设置，而且设置非常简单。

类型	数字式	测量范围	1

日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度测量系统F10-RT

F10-RT 是一款集成了测量单元和测量台的紧凑型台式测量系统。可同时测量反射率和透射率，并可轻松分析膜厚、折射率和消光系数。
只需一根 USB 线和电源线即可轻松连接，无需调整光学系统，无需复杂的设置，而且设置非常简单。

日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度测量系统F10-RT

平板	聚酰亚胺、ITO、抗蚀剂、氧化膜、抗反射涂层、PET和玻璃基板上的各种光学膜
光学镀膜	玻璃、眼镜、镜片等的硬质涂层。
薄膜太阳能电池	CdTe、CIGS、非晶硅等

模型	F10-RT -紫外线	F10-RT	F10-RT -近红外	F10-RT 　-近红外	F10-RT 　-UVX
测量波长范围	190 – 1100nm	380 – 1050nm	950 – 1700nm	380 – 1050nm	380 – 1050nm
膜厚测量范围	1nm – 40μm	15nm – 70μm	100nm – 150μm	15nm – 150μm	1nm – 150μm
准确性	± 0.2% 薄膜厚度		± 0.4% 薄膜厚度	± 0.2% 薄膜厚度
准确性	1纳米	2纳米	3纳米	2纳米	1纳米
光源	氘· 卤素	卤素			氘· 卤素

平板中使用的透明电极ITO的膜厚和折射率的测定例
同时测定反射率和透射率。薄膜厚度分析 FIL Measure 软件可即时分析薄膜厚度、折射率等。

反射/透射/薄膜厚度测量系统 测厚仪