台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S

类型	数字式	测量范围	1

日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S

产品特点

• 实现高测量重复性（± 0.01 μm 或更小，取决于对象和测量条件）

• 不易受温度变化的影响

• 可以生产用于研究和检查的离线式和在制造过程中使用的在线式。

• 反射型允许从薄膜的一侧进行测量

• 仅可测量透明涂膜层（取决于测量条件）

• 模型	飞行时间
  测量方法	非接触式/光谱干涉式
  测量对象	电子和光学用透明平滑膜、多层膜
  测量原理	光谱干扰型

  日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S

• 产品规格

  测量厚度	1～50μm（薄材料）、10～150μm（厚材料）
  测量长度	50-5000 毫米
  测量间距	1 毫米 ~
  小显示值	0.001微米
  电源电压	AC100 V 50/60 Hz
  工作温度限制	5～45℃（测量时温度变化1℃以内）
  湿度	35-80%（无冷凝）
  测量区域	φ0.6 毫米
  测量间隙	约 30 毫米