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更新日期：2021-12-14
简要描述：
日本fcon气体混合器CUBE GM系列
● 气体混合器[CUBEGM 系列]是包含质量流量控制器、控制电源、阀门、止回阀和气体混合器的单元型。
● 以z低配置实现低价格。
● 只需在IN侧和OUT侧连接配管，即可将2～4种气体设定、控制为任意流量，供给混合气体的装置。
日本fcon气体混合器CUBE GM系列
日本fcon气体混合器CUBE GM系列
| 产品名称 | CUBE GM系列 |
|---|---|
| 尺寸 | CUBEGM2: W315 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 CUBEGM3: W415 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 CUBEGM4: W515 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 |
| 输入电源 | AC100V |
| 目前的消费 | MAX 1A * 安装 4 个质量流量控制器时 |
| 流量控制范围 | 1 行：FS10SCCM ~ 20SLM * 但是，混合气体流量必须为 50SLM 或更少。 |
| 流量控制 | MFC：C1000系列或FCST1000系列 |
| 流量设定/输出显示 | 0-5VDC |
| 入口、出口阀 | 球阀 |
| 外漏 | ≦ 5 × 10-7Pa ･ m3/ sec He |
| 耐压 | 1MPa |
| 气体接触材料质量 | SUS316、PTFE、氟橡胶 （FCST1000系列：磁性不锈钢、氟橡胶或氯丁橡胶） |
| 管道连接 | 如需 1 / 4in.SWL（等效）和其他配件，请联系我们。 |
| 使用环境 | 温度：5 至 50°C 精度保证范围：15 至 35°C 湿度 30 至 80%（无冷凝） |
| 配件 | AC 电缆 (2m)、使用说明书 |
