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更新日期：2022-07-22
简要描述：
日本shinkuu SEM样品的金属镀膜装置MSP-1S
该设备是用于SEM观察的贵金属薄膜镀膜设备。它是一种执行贵金属涂层以防止 SEM 样品充电并提高二次电子产生效率的设备。
日本shinkuu SEM样品的金属镀膜装置MSP-1S
该设备是用于SEM观察的贵金属薄膜镀膜设备。它是一种执行贵金属涂层以防止 SEM 样品充电并提高二次电子产生效率的设备。除了通过磁控管靶电极进行低压放电外，样品台制成浮动式，以减少由于电子束流入造成的样品损坏。操作简单，按一下按钮，没有技巧。它很小，不占用空间。在桌子的角落里很有用。
用于 SEM 样品的金属镀膜装置。
日本shinkuu SEM样品的金属镀膜装置MSP-1S
| 物品 | 规格 |
| 电源 | AC100V（单相100V10A）3P插头1口带地 |
| 旋转泵 | 10L/min（设备内置） |
| 设备尺寸 | 宽 200 毫米 x 深 350 毫米 x 高 345 毫米 （设备重量：14.6 公斤） |
| 样品室尺寸 | 内径 120 毫米 x 高 65 毫米（硬玻璃） |
| 样本表大小 | 直径50毫米（浮动法） |
| 电极样品台间距 | 35 mm（使用辅助样品台时为 25 mm） |
| 靶电极 | 内置永磁体的磁控管型靶电极 |
| 目标金属规格 | Φ51 mm, 厚度 0.1 mm Pt, Pt-Pd, Au, Au-Pd, Ag |
