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更新日期：2022-07-22
简要描述：
日本shinkuu φ300mm Pt 镀膜机MSP-12in
配备兼容 12 英寸晶圆的大面积样品台。使用磁控管方法，当涂层电压为 500V 或更低时，可减少离子损伤。
日本shinkuu φ300mm Pt 镀膜机MSP-12in
配备兼容 12 英寸晶圆的大面积样品台。使用磁控管方法，当涂层电压为 500V 或更低时，可减少离子损伤。
从脱气到大气气体引入和涂层的全自动操作，具有自动涂层功能。
配备前滑动式样品台，可轻松放入和取出样品。如果安装 Ag 靶材，则可以轻松进行透明薄膜等光泽处理。
MSP-12in
靶材的直径为 12 英寸（直径 300 毫米），均匀地覆盖整个 12 英寸晶圆。它适用于大面积涂层和大量样品的涂层。
MSP-12S
靶电极的 尺寸为直径 50 mm。当您想要对大面积样品（例如 12 英寸晶圆）的一部分进行镀膜时，可移动靶非常有用。通过缩小电极尺寸可以降低运行成本。此外，无需破碎大晶片。
日本shinkuu φ300mm Pt 镀膜机MSP-12in
主要产品规格
| 物品 | 规格 |
| 电源 | 单相AC100V15A 3芯插头带地线 |
| 设备尺寸 | 宽 450 毫米，深 440 毫米，高 427 毫米 （设备重量 30 公斤） |
| 旋转泵 | G-101D 宽 234 mm，深 500 mm，高 264 mm 重量 25 kg |
| 涂装室尺寸 | 内径 330 毫米，高度 80 毫米 |
| 目标电极尺寸 | 直径300mm |
| 样品台 | 直径300mm |
