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更新日期：2022-06-22
简要描述：
日本shibaura皮拉尼压力真空计 GPW 系列
本产品是一种皮拉尼真空计，能够测量从大气压到 5 × 10 -2 Pa 的宽范围。
日本shibaura皮拉尼压力真空计 GPW 系列
本产品是一种皮拉尼真空计，能够测量从大气压到 5 × 10-2 Pa 的宽范围。
此外，该真空计从传统控制器中去除了操作/显示单元，并将其缩小到低限度的必要功能，从而实现了“降低成本"和“节省空间"。
广域测量：可进行从大气压到 5 × 10-2Pa 的广域测量
省配线：通过集成传感器和控制器，实现省配线、省空间和省电。
提高可视性：配备可检查异常情况的 LED
可一键调节：可一键调节大气压、调零点
可维护性：轻松更换触控笔
灯丝材料-铂（Pt）：灯丝材料采用耐腐蚀性好的铂金。
测量值输出信号：0～10V压力对数输出标准设备
提高抗冲击性：具有优异抗冲击性的设计结构
控制输出信号：可输出2个设定点（GPW-1）
串行通信规格：可进行 RS-232C/RS-485 通信（仅限 GPW-2）
符合标准：符合CE标准
用于太阳能电池、FPD、半导体、电子元件等各种制造设备的低真空区域的工艺控制
用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制
用于在线式和单晶片式等具有许多工艺室的各种制造设备的低真空区域的工艺控制
| 模型 | 总规划一一 | 工作总计划-2 | |
|---|---|---|---|
| 可连接触控笔 | 一 | ||
| 自适应触控笔 | SWP-16 (NW-16) | ||
| 测量压力范围 | 5.0 x 10-2至 1.0 x 105Pa | ||
| 测量精度 * | 1×10-1～1××104Pa：±10% 5.0×10-2～1.0×10-1Pa、1×104Pa～1×105Pa：±20% |
||
| 重复性 | 1×10-1Pa～1×104Pa：±2% | ||
| 采样时间 | 50 毫秒 5 个移动平均线 | ||
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0 至 10 V | ||
| 压力指示（日志输出） 1.7 V 至 8.0 V，1 V/位 | |||
| 更新时间 | 50 毫秒 | ||
| 控制输入信号 | 集电极开路输入，负逻辑 ADJ调节（零点调节，大气压调节） |
―――― | |
| 控制输出信号 | 集电极开路输出 负逻辑 [额定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW] 错误信号 设定点 1、2 |
―――― | |
| 监控设定点 | 设定点 1、2：0 ~ 10 V 日志输出 | ―――― | |
| 串行通信规格 | ―――― | RS232C / RS485 | |
| LED显示屏 | POWER / ERROR：电源、错误指示灯 | ||
| SET-1：设定点 1 LED SET-2：设定点 2 LED |
―――― | ||
| 灯丝材料 | 铂 | ||
| 工作温度限制 | 10-40℃ | ||
| 工作湿度范围 | 15-80%（但无冷凝） | ||
| 知识产权保护等级 | IP30（传感器单元） | ||
| 安装姿势 | 没有限制 | ||
| 电源电压 | DC 18 V 至 30 V，2 W（打开电源时为 4.8 W） | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub15-Pin（M2.6 螺丝） | ||
| 大量的 | 150 克（带 SWP-16） | ||
| 外形尺寸（电源） W x D x H (mm) | 70×46×28 | ||
| 符合标准 | 行政长官 | ||
* 气压调整和零点调整后的精度。
