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更新日期：2022-08-22
简要描述：
日本tazaki半导体制造用橡胶
- 对溶剂、酸和碱具有出色的耐受性。
・ 比 perflo-elastomer 便宜。
-适用于半导体和液晶制造设备的湿部件。
日本tazaki半导体制造用橡胶
- 对溶剂、酸和碱具有出色的耐受性。
・ 比 perflo-elastomer 便宜。
-适用于半导体和液晶制造设备的湿部件。
| 超级橡胶 | 通用 FKM | ||
| 丙酮 | △ V% | 20.1 | *262.2 |
| △W% | 7.5 7.5 | *118.5 | |
| 二氯甲烷 | △ V% | 9.2 | 29.4 |
| △W% | 5.8 | 17.2 | |
| 甲苯 | △ V% | 7.4 7.4 | 9.5 |
| △W% | 2.8 | 4.3 | |
| 乙酸丁酯 | △ V% | 16.8 | 364.7 |
| △W% | 7.1 7.1 | 161.5 | |
| 叔丁基 甲醚 |
△ V% | 25.1 | 194.6 |
| △W% | 9.1 | 76.8 | |
| 2-Acetone-1- Ekitoshi 丙烷 |
△ V% | 6.0 6.0 | 291.7 |
| △W% | 2.8 | 148.5 | |
| 甲醇 | △ V% | 2.6 2.6 | 148.6 |
| △W% | 1.0 1.0 | 63.2 | |
| 冰醋酸 | △ V% | 18.0 | 168.7 |
| △W% | 9.6 | 94.8 | |
| 氢氧化钠 （20%水溶液） |
△ V% | 0.3 | ± 0 |
| △W% | ± 0 | -0.3 |
氟橡胶的交联方式主要有两种：多元醇交联（氟橡胶的主流）和过氧化物交联，但各有优缺点如下表所示。
| 强项 | 缺点 | |
|---|---|---|
| 多元醇 | 优于压缩变形 | 用蒸汽水解 |
| 过氧化物 | 优异的耐水性和耐蒸汽性 | 耐热性和压缩变形较差 |
由 Asahi Tazaki 开发的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的压缩变形和耐高温蒸汽性。
日本tazaki半导体制造用橡胶
| 耐蒸汽 (T77SA1) | 通用 FKM | ||
|---|---|---|---|
| 初始物理特性 |
|||
| 抗拉强度 (MPa) 伸长率 (%) 硬度 |
10.5 230 A69 / S |
13.1 270 A70 / S |
|
| 在100°C 和 1 个大气压下 蒸汽 |
120H后 | ||
| 抗拉强度变化率 (%) 伸长率 变化率 (%) 硬度变化 |
± 0 +1.5 ± 0 |
-20.5 +3.7 -4 |
|
| 240小时后 | |||
| 抗拉强度变化率 (%) 伸长率 变化率 (%) 硬度变化 |
-3.5 +3.5 -2 |
-31.0 + 15.5 -8 |
|
| 180℃ 蒸汽 |
1000H后 | ||
| 抗拉强度变化率 (%) 伸长率 变化率 (%) 硬度变化 |
-15 +8 |
-68 -二十五 |
|
| 压缩畸变率(%) 175° x 22H | 四 | 7 | |
