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日本kurabo液体成分浓度计ChemicAlyzer

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更新日期:2022-08-02

简要描述:

日本kurabo液体成分浓度计ChemicAlyzer
ChemicAlyzer 是一种液体成分浓度计,采用采用光吸收原理的在线设计实现连续测量。

日本kurabo液体成分浓度计ChemicAlyzer

日本kurabo液体成分浓度计ChemicAlyzer

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ChemicAlyzer 是一种液体成分浓度计,采用采用光吸收原理的在线设计实现连续测量。自 1990 年开始作为红外液体成分浓度计的先驱开展业务以来,我们利用我们丰富的专业知识和技术,通过响应测量来应对质量和化学浓度方面不断发展的半导体器件制造过程需求,支持的管理。
我们将通过灵活应对工艺和特殊化学品,以及通过高精度化学浓度测量“提前应对测量需求",继续为优化制造工艺做出贡献。

  • 晶圆制造工艺

  • 半导体制造工艺


    • 液晶面板制造工艺

    • 基板制造工艺

    • 晶振制造工艺

  • ・抗蚀剂剥离剂的浓度控制

  • ・再生化学品的浓度管理

  • ・后处理化学品的浓度控制

  • ・酸碱清洗液的浓度控制

  • ・氧化膜/氮化膜蚀刻液的浓度控制

  • ・其他特殊化学品的浓度管理

此外,它还广泛应用于电池材料制造过程和清酒和醋的发酵测量等行业。
因其高性能测量技术而受到高度评价,已在日本、东亚和美国销售超过 3,000 台!

日本kurabo液体成分浓度计ChemicAlyzer

基本规格

测量方法 近红外透射光谱
最短测量时间 2 秒
测量值输出 DC4-20mA
输入信号 晶体管电流驱动输入(测量、校准、预热结束等)
输出信号 集电极开路输出(READY、BUSY、设备错误、测量、成功、上下限报警等)
接液部分材料 石英池规格:PFA、PTFE、石英(池)、全氟(O 型圈)
蓝宝石 池规格:PFA、PTFE、蓝宝石(池)、Kalrez(O 型圈)
最大工作压力 0.2MPa
管道直径 IN: Φ3 × Φ2 OUT: Φ4 × Φ3(mm) 含1m管

化学品清单

主要用途 成分1 成分 2 成分 3 评论 通用名称 推荐高精度 支持所需的特殊波长
半导体 NH3__ H2O2___

APM, SC1

高频





高频

DHF
H2SO4___ H2O2___

SPM

高频 H2O2___

FPM

高频 H2O2___
FPM
高频 盐酸


高频 H2SiF6___



人机交互 H2O2___

HPM,SC2
氢氧化钾 H2O2___




氢氧化钠 H2O2___




H3PO4___





高频 NH4F__



高频 HNO3_



高频 H2O2___ CH3COOH__


液晶 TMAH

开发商


H3PO4___ HNO3_ CH3COOH__ 蚀刻

H2SO4___ H2O2___ 蚀刻
__ 溶剂 抗剥离
其他 国际音标





__

有机溶剂中的微量水

CH3COOH__ C2H5OH____
尖酸刻薄

C2H5OH____ 葡萄糖
清酒




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