日本microphase石墨烯合成设备MPCVD-50

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更新日期：2022-09-07

简要描述：

日本microphase石墨烯合成设备MPCVD-50
用于碳纳米管的合成、碳成膜、纳米陶瓷成膜、氮化、硫属化物成膜等。

燃料	电加热锅炉	结构形式	立式
出口压力	高压

日本microphase石墨烯合成设备MPCVD-50

用于碳纳米管的合成、碳成膜、纳米陶瓷成膜、氮化、硫属化物成膜等。

目的：	用于合成碳纳米管、在粉末样品上沉积碳膜以及各种 CVD 膜沉积的通用管式炉型热 CVD 设备。通过增加氨气、各种CVD反应气体、升华固体前驱体、液体前驱体的引入单元，可应用于氮化、硫属化物（二硫化钼MoS2等）层状材料沉积等。
特征：	配备液体燃料（乙醇）引入系统，可用于无法安装烃类气体的场所。　3系统质量流量气体流量控制系统，可以进行精确的气体控制。　真空排气系统是标准设备，可用作真空炉或气氛炉。　紧凑而坚固的外壳设计，易于安装在桌面实验室工作台上。　高度可扩展且易于处理任何类型的处理。

LIB电池用Si负极材料上的碳涂层

二硫化钼薄膜

长 CNT/Si 的 SEM 图像

粉末状 CNT 的 SEM 图像

日本microphase石墨烯合成设备MPCVD-50

主要规格