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更新日期:2022-10-08
简要描述:
日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR
晶圆,复合晶圆的快速加热
光化学气相沉积衬底加热
日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR
晶圆,复合晶圆的快速加热
光化学气相沉积衬底加热
热循环测试
涂膜的耐热性评估
有机材料和树脂的加热和干燥
50°C / s快加热
可在真空,惰性气体,流动气氛,空气的气氛下进行加热
精确的温度控制
紧凑的台式设计
控温范围 | RT ~ 700 °C |
---|---|
样品尺寸 | □ 或φ20mm x 2mm (T) |
加热气氛 | 真空,静态气氛,流动气氛,空气 |
日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR
晶圆,复合晶圆的快速加热
光化学气相沉积衬底加热
热循环测试
涂膜的耐热性评估
有机材料和树脂的加热和干燥
50°C / s快加热
可在真空,惰性气体,流动气氛,空气的气氛下进行加热
精确的温度控制
紧凑的台式设计
控温范围 | RT ~ 700 °C |
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样品尺寸 | □ 或φ20mm x 2mm (T) |
加热气氛 | 真空,静态气氛,流动气氛,空气 |
日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR