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更新日期：2022-10-13
简要描述：
日本nanophoton带晶圆载物台的拉曼显微镜 RAMANdrive
RAMANdrive 是一款专用于半导体分析的拉曼显微镜，配备 300 毫米晶圆载物台。
载物台可以准确平稳地移动到晶圆上所需的位置，实现高性能拉曼光谱成像分析。
| 类型 | 其他 | 测量范围 | 1 |
|---|
日本nanophoton带晶圆载物台的拉曼显微镜RAMANdrive
RAMANdrive 是一款专用于半导体分析的拉曼显微镜，配备 300 毫米晶圆载物台。
载物台可以准确平稳地移动到晶圆上所需的位置，实现高性能拉曼光谱成像分析。
配备专用载物台，最大可放置300mm的大直径晶圆。真空吸附机构使晶圆保持水平并将其牢固地固定在平台上。由于载物台具有较宽的可移动范围，因此可以在视野中心从晶圆边缘到边缘的任何位置进行捕捉和测量。晶圆以外的高样品可以放置在平台中央的凹槽中。
高性能拉曼光谱成像
为了显着提高拉曼图像的采集速度，我们开发了一种的线照明技术，将激光束拉伸成一条线并照射到样品上。从样品上的线形照明区域同时检测到 400 个拉曼光谱。此外，通过安装高精度扫描镜，实现了激光束扫描成像。规定分析区域后，无需移动载物台，只需几分钟即可获得超过 100,000 像素的高清拉曼图像。
RAMANdrive 配备高质量的共焦光学器件，在所有 XYZ 方向上拥有最高的空间分辨率。这种高分辨率还有助于显着提高 100 nm 或更小的微粒的检测灵敏度。出色的光谱分辨率和峰值定位精度能够对应力和多型进行高度准确的分析。
空间分辨率显着提高了对小于光斑尺寸的颗粒的检测灵敏度。选配的高品质暗场观察功能可清晰确认100nm以下微小异物的位置，高精度激光束扫描将激光束准确照射到异物中心。可以获得具有高信噪比的拉曼光谱，从而可以高精度地识别污染物。
RAMANdrive 配备高性能共焦光学器件，可对 SiC、GaN 和金刚石等透明样品进行深度成像。通过断层拉曼成像获得的 SiC 晶片中应力分布的数据表明，研磨划痕引起的应力通过抛光得到了降低。
日本nanophoton带晶圆载物台的拉曼显微镜RAMANdrive
| 空间分辨率（X/Y/Z） | 350nm/500nm/1000nm (@532nm, 100x 0.90NA) |
|---|---|
| 光谱测量范围 | 100 cm -1 ~ (选项：50 cm -1 ~) |
| 光谱分辨率 (FWHM) | 1.2cm -1 (@785nm, 1200g/mm) |
| 光谱像素分辨率 | 0.4cm -1 /pixel (@785nm, 1200 g/mm) |
| 峰值定位精度 | 0.1cm -1 (@532nm, 2400g/mm) |
| 激光波长 | 325nm、355nm、488nm、532nm、671nm、785nm等 |
|---|---|
| 激光照射方式 | 点光源/线光源 |
| 光谱仪焦距 | 550mm |
| 光栅 | 内置 3 张 150、300、600、1200、1800、2400 g/mm |
| 探测器 | 热电冷却 CCD 1340 × 400 像素 |
| 尺寸（宽x高x深） | 1276×1350×1320mm（含防震台） |
|---|---|
| 重量 | 390kg（含防震台） |
