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更新日期:2022-10-17
简要描述:
日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-2
可以测量从大气压到5×10M -2 Pa的宽范围的皮拉尼真空计。
出色的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度都在±20%以内
日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-2
可以测量从大气压到5×10M -2 Pa的宽范围的皮拉尼真空计。
此外,该真空计消除了传统控制器(传感器单元)的操作和显示部件,并将其缩小到低限度的必要功能,从而实现了“降低成本"和“节省空间"。
特征
广域测量:可进行从大气压到5×10-2Pa 的广域测量
提高耐冲击性:高耐冲击性设计结构
出色的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度都在±20%以内
灯丝材料/铂(Pt):耐腐蚀铂用作灯丝材料。
提高可视性:配备用于检查异常的 LED
可一键调节:可一键调节气压和调零。
可维护性:易于更换手写笔
适用测针扩展:除NW16/25规格外,还增加了Φ15/18规格、对角法兰规格、锥螺纹R1/8规格。
测量值输出信号:0 至 10 V 压力日志输出为标准设备
控制输出信号:可输出2个设定点(SW1-1)
串行通信规格:可进行RS-232C/RS-485通信(SW1-2)
符合标准:兼容CE标准
运用
太阳能电池、FPD、半导体、电子元件等的制造
用于设备低真空区域的过程控制
用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制
在线型和单晶片型等具有许多工艺室的各种类型
用于制造设备低真空区域的过程控制
规格
模型 | SW1-1 | SW1-2 |
可连接触控笔 | 一 | |
适用触控笔 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(φ18)、SWP-P15(φ15)、SWP-CF16(ICF034)、SWP-1S( ASME BPE 卫生型 1") | |
测量压力范围 | 5.0×10-2~ 1.0×10+5Pa(Pa(显示范围:1.0×10-2~ 1.2×10+5Pa) | |
测量精度* | 1×10-1Pa 至 1×10+4Pa : ±10% | |
5.0×10-2~ 1.0×10-1Pa, 1×10+4Pa ~ 1×10+5Pa : ±20% | ||
可重复性 | 1×10-1Pa 至 1×10+4Pa : ±2% | |
采样时间 | 50ms 5次移动平均处理 | |
测量值输出 | 输出电压 DC 0~10V | |
压力指示(对数输出) 1.7V ~ 8.0V 1V/位(输出范围:1.0V ~ 8.1V) | ||
(更新时间) 50ms | ||
控制输入信号 | 集电极开路输入,负逻辑 | - |
ADJ调节(零位调节、气压调节) | - | |
控制输出信号 | 集电极开路输出, |
- |
错误信号 | - | |
设定点 1、2 | - | |
设定值监视器 | 设定点 1、2:0-10V 日志输出 | - |
串行通信规范 | - | RS232C/RS485 |
LED显示屏 | POWER/ERROR:电源,错误指示灯 | |
SET-1:设定点 1 LED | - | |
SET-2:设定点 2 LED | - | |
灯丝材料 | 铂 | |
工作温度限制 | 10~40℃ | |
工作湿度范围 | 15~80%(无冷凝) | |
知识产权保护等级 | IP30(传感器单元) | |
安装姿势 | 没有限制 | |
电源电压 | DC18V~30V,2W(通电时4.8W) | |
输入/输出连接器 | D-sub15-pin (M2.6mm螺丝) 传感器单元侧 | |
大量的 | 150g(含 SWP-16) | |
尺寸(电源)WxDxH | 70mm×46mm×28mm | |
配件 | 快速手册 | |
选项 | I/O连接器(D-sub15-socket(M2.6mm螺丝))、检验报告、通用校准测试报告、JCSS校准证书 |
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显示:ISG1(1ch)、IM1R1/IM2R1(4ch) | - |