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更新日期：2022-10-18
简要描述：
日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E
可连接不同量程的接点：采用多离子规，可根据应用选择接点。
日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E
这是一个新系列的换能器型真空计“G-TRAN系列多离子计"，可以连接不同测量范围的探针。本产品为BA型电离真空计，可测量超高真空。在继承传统压力测量范围宽、运行成本低的理念的同时，我们对其进行了改进，使其更加人性化。
特征
可连接不同量程的接点：采用多离子规，可根据应用选择接点。
紧凑：比传统产品小得多（控制器体积减少 56%），最小的级别
提高可用性：PC/智能手机连接可实现设定点设置、状态确认等。
产品阵容增强：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）之外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）
灯丝寿命通知功能：灯丝功率监控可提前通知灯丝寿命
压力测量范围广：可测量从大气压到高真空范围（1 x 10+5至 5 x 10-8Pa）（连接可选单元 SWU10-R 时）
精确的大气压测量：可以检查腔室开口的大气压（连接可选单元 SAU 时）
用途
用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制
用于检查具有许多工艺室的各种制造设备的高真空区域的极限压力，例如在线和单晶片系统。
用于高真空/超高真空设备的压力测量
日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E
规格
| 模型 | SH200-A | SH200-R | SH200-E（预定发布） | |
| 规格 | 标准规格 | 串行通信规范 | EtherCAT 规格 | |
| 自适应多离子规传感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) | |||
| 可连接传感器 | 多离子规传感器：1 个 皮拉尼规 SWU10-R：1 个（选项） 大气压传感器 SAU：1 个（选项） |
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| 重复性 (N2) | SH200 独立模式：±2% | |||
| 采样时间 | 60ms 5次移动平均处理 | |||
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位 压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ |
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| 更新时间 | 60毫秒 | |||
| 控制输入信号 | 使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集电极开路输入、负逻辑 操作 * FIL ON/OFF 信号使用因模式而异 |
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| 控制输出信号 | 传感器错误，设定点 1/2/3，发射有效， 灯丝功率监控 额定值：24VMAX，50mAMAX，饱和电压 1V |
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| 串行通信规范 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED显示屏 | POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化） | |||
| SET1：设定点1 LED SET2：设定点 2LED SET3：设定点 3LED |
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| 发射电流 | 1mA（1×10-3Pa以下）、10μA（1×10-3Pa以上） | |||
| 脱气 | 电子轰击法（电子轰击）1mA，330V | |||
| 传感器耐压 | 2×10+5Pa（绝对压力） *法兰和卡箍的承受压力必须单独考虑。 | |||
| 传感器内部容积 | 17cm3（M-44）、19cm3（M-45）、17cm3（M-46） | |||
| 工作温度限制 | 10 至 50°C | |||
| 工作湿度范围 | 15 至 80%（无冷凝） | |||
| 贮存温度 | -20 至 65°C（未通电时无冷凝） | |||
| 知识产权保护等级 | IP30 | |||
| 电源电压 | 20 至 28 VDC（纹波、噪声 1% 或更低）、8 W 或更低 | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub 15针（M2.6螺丝） | |||
| 大量的 | 控制器：约 280g 探头（M-44，M-45）：80g，（M-46）：300g | |||
| 尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 符合标准 | 行政长官 | |||
| 选项 |
多离子计传感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) 材质：灯丝 1,2 -Ir/Y2O3涂层 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni电镀 |
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| 皮拉尼规 | SWU10-R *也兼容传统 SPU | |||
| 皮拉尼压力传感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端) 材质：灯丝-Pt，其他- BS/Ni、电镀、镍、焊料 |
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| 大气压传感器 | SAU(NW16) 材质：SUS316L | |||
| 单元电缆 | GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m |
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| 显示单元 | 1CH：ISG1（使用DC24V供电） | |||
| 显示单元电缆 | SH200 和显示单元之间的电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m |
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| 连接器 | 输入/输出连接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺丝）） | |||
| 其他 | 检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书 | |||
