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thermocera手动升降式立式实验炉TVF-110

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更新日期:2023-03-24

简要描述:

thermocera手动升降式立式实验炉TVF-110
适用于从小样品到3英寸晶圆的小基板 基座 手动升降式立式实验炉用于
基础实验的低成本立式炉 非常适合大学和企业实验室的基础实验

thermocera手动升降式立式实验炉TVF-110
品牌 其他品牌 燃料 电加热锅炉
结构形式 立式 出口压力 高压

thermocera手动升降式立式实验炉TVF-110

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立式实验反应釜 最高1200°C

低成本 低要求配置(手动控制) 可用作管式炉、扩散炉和热 CVD

罐式加热器

最高1200°C

适用于从小样品到3英寸晶圆的小基板 基座 手动升降式立式实验炉用于
基础实验的低成本立式炉 非常适合大学和企业实验室的基础实验

特征

  • 用户友好,易于手动操作

  • 配置简单,是基本实验室应用的理想选择

  • 可以以低成本和低的必要规格提出设备

  • 我们可以根据要求定制。

设备配置

  • 炉体(石英部件,如基座、舟、缓冲器等,包括垂直升降机构)

  • 热电偶

  • 温度控制单元

  • 支架

thermocera手动升降式立式实验炉TVF-110

原理图规格

【电炉部分】 规范
最高工作温度 MAX1200°C (*加热器最高温度) 电路板温度 950°C
加热器 罐式加热器1区式1.5KW
炉体 陶瓷成型品 Φ290 x 300L(分成两半)
带开合功能的铝制外壳
热电偶 2对K型护套热电偶,用于控制和超温检测
温度测量热电偶 Φ0.65mm K带线型绝缘管1500L
温度控制 PID温度控制器晶闸管控制

【炉芯管及石英夹具部】 规范
炉芯管 Φ100 x Φ95 x 470L
缓冲区 234H x Φ86 屏蔽板 x 2 层
基座 Φ86 x t5mm (带上下杆) x 2-3级
热电偶保护管 Φ8 x Φ6 x 660L mm

【基座底座法兰上下升降部分】 规范
驱动系统 手动(旋转手柄)
中风 MAX300mm (基座) MAX500mm (基座法兰),
带停止位置刻度,带可选垂直停止位置钳位钳位器



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