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更新日期：2023-03-24
简要描述：
thermocera手动升降式立式实验炉TVF-110
适用于从小样品到3英寸晶圆的小基板 基座 手动升降式立式实验炉用于
基础实验的低成本立式炉 非常适合大学和企业实验室的基础实验
| 品牌 | 其他品牌 | 燃料 | 电加热锅炉 |
|---|---|---|---|
| 结构形式 | 立式 | 出口压力 | 高压 |
thermocera手动升降式立式实验炉TVF-110
低成本 低要求配置（手动控制） 可用作管式炉、扩散炉和热 CVD
| 罐式加热器 | 最高1200°C |
|---|
适用于从小样品到3英寸晶圆的小基板 基座 手动升降式立式实验炉用于
基础实验的低成本立式炉 非常适合大学和企业实验室的基础实验
用户友好，易于手动操作
配置简单，是基本实验室应用的理想选择
可以以低成本和低的必要规格提出设备
我们可以根据要求定制。
炉体（石英部件，如基座、舟、缓冲器等，包括垂直升降机构）
热电偶
温度控制单元
支架
thermocera手动升降式立式实验炉TVF-110
| 【电炉部分】 | 规范 |
|---|---|
| 最高工作温度 | MAX1200°C （*加热器最高温度） 电路板温度 950°C |
| 加热器 | 罐式加热器1区式1.5KW |
| 炉体 | 陶瓷成型品 Φ290 x 300L（分成两半） |
| 箱 | 带开合功能的铝制外壳 |
| 热电偶 | 2对K型护套热电偶，用于控制和超温检测 |
| 温度测量热电偶 | Φ0.65mm K带线型绝缘管1500L |
| 温度控制 | PID温度控制器晶闸管控制 |
| 【炉芯管及石英夹具部】 | 规范 |
|---|---|
| 炉芯管 | Φ100 x Φ95 x 470L |
| 缓冲区 | 234H x Φ86 屏蔽板 x 2 层 |
| 基座 | Φ86 x t5mm （带上下杆） x 2-3级 |
| 热电偶保护管 | Φ8 x Φ6 x 660L mm |
| 【基座底座法兰上下升降部分】 | 规范 |
|---|---|
| 驱动系统 | 手动（旋转手柄） |
| 中风 | MAX300mm （基座） MAX500mm （基座法兰）， 带停止位置刻度，带可选垂直停止位置钳位钳位器 |
