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更新日期：2023-03-24
简要描述：
thermocera热CVD设备纳米炉BWS-NANO-2.5
【热水热CVD设备】小型高性能CVD设备是基础研究的理想选择
| 品牌 | 其他品牌 | 燃料 | 电加热锅炉 |
|---|---|---|---|
| 结构形式 | 立式 | 出口压力 | 高压 |
thermocera热CVD设备纳米炉BWS-NANO-2.5
【热水热CVD设备】小型高性能CVD设备是基础研究的理想选择
石墨烯、碳纳米管
氧化锌纳米线
绝缘膜，如SiO2等
此外，它可以作为热水型热CVD装置广泛用于各种用途。
紧凑的系统可实现高质量的薄膜沉积实验
热水式反应管内部均匀加热
4 个系统（用于 CH4、Ar、H2、起泡器） MFC 高精度流量控制：精度±1% F.S.
带电容压力计的高精度APC压力控制
通过可选的实验室视图软件进行远程控制，数据分析
thermocera热CVD设备纳米炉BWS-NANO-2.5
| 石英炉芯管尺寸 | Φ2.5英寸或Φ4英寸 x 长12" |
| 样本量 | 10 x 10毫米（2.5英寸）、100 x 100毫米（4英寸） |
| 温度控制 | PID编程温度控制器 |
| 炉压控制 | APC自动压力控制 |
| 极限压力 | 5 x 10-3 托 |
| 真空计 | 食人鱼计，电容压力计 |
| 真空泵 | 旋转泵 |
| 质量流量控制器 | 0-50SCCM（CH4） |
| 0-500sccm（Ar） | |
| 0-1000sccm（H2） | |
| 0-50sccm（用于起泡剂、酒精剂或无毒液前体） |
