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thermocera纳米CVD石墨烯/碳纳米管合成器

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更新日期:2023-03-24

简要描述:

thermocera纳米CVD石墨烯/碳纳米管合成器
CVD法是一种稳定的技术,已经建立了多种用途,它是未来大规模合成石墨烯和碳纳米管的最现实的方法,因此我们在这台机器中采用了CVD方法。 制造商Moorfield与英国国家研究所合作,多次验证了这种薄膜沉积实验装置。

thermocera纳米CVD石墨烯/碳纳米管合成器
品牌 其他品牌 燃料 电加热锅炉
结构形式 立式 出口压力 高压

thermocera纳米CVD石墨烯/碳纳米管合成器

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◉ 型号。 纳米CVD-8G(用于石墨烯合成)
◉型号。 纳米CVD-8N(用于碳纳米管)


每批仅需 1 分钟,可轻松合成高质量石墨烯和碳纳米管

CVD(化学气相沉积)

CVD法是一种稳定的技术,已经建立了多种用途,它是未来大规模合成石墨烯和碳纳米管的最现实的方法,因此我们在这台机器中采用了CVD方法。 制造商Moorfield与英国国家研究所合作,多次验证了这种薄膜沉积实验装置。 在与研究机构的合作下,已经验证了使用拉曼光谱,SEM,AFM等分析数据可以制备高质量的石墨烯和CNT样品。

冷壁CVD

采用冷壁/高温样品加热台(热板),反应快,重现性好。 设备小型化,加工时间缩短,可操作性强,可创建并存储30种合成配方。 除了标准系统配置外,还可以根据要求定制设备配置。 nanoCVD系统是一种实验装置,尽管体积小,但具有为基础研究和开发领域做出贡献的无限潜力。

特征

  • 无需使用大型设备即可轻松进行石墨烯碳纳米管 (SWNT) 沉积实验

  • 1批次只需30分钟!

  • 冷壁式高效高精度过程控制

  • 快速升温:室温→1100°C约3分钟

  • 高性能机器,具有高精度的温度流量控制和出色的可重复性

  • 操作简单! 通过 5 英寸触摸屏进行操作和配方管理

  • 最多可创建和保存 30 个配方和 30 步合成程序。

  • 标配专用软件,数据记录为输出PC上的CSV文件

  • USB电缆连接,PC端的配方创建→上传到设备

thermocera纳米CVD石墨烯/碳纳米管合成器

主要规格

A. 主要规格

1. 反应室

不锈钢SUS304泄漏检查

2. 加热阶段

陶瓷

3. 兼容的样本量

20 x 40毫米

4. 加热加热器

高纯石墨加热器MAX1050°C

5. 温度控制

包括K型热电偶标准(安装在加热台下方)

B. 过程控制设备规格

1. 气体控制

质量流量控制器 x 3 (Ar, H2, CH4)

2. 压力控制

20托尔·

3. 真空抽真空

包括爱德华兹旋转泵RV3(3㎥/小时)

4. 操作面板

前置式 5 英寸触摸屏 (欧姆龙)

5. 风冷

通过冷却风扇对外壳进行内部冷却

6. 控制系统

PLC自动过程控制

C. 软件(包括标准)

1. 纳米CVD软件

包括标准(安装石墨烯的标准程序)

2. 界面

USB 2.0 连接

3. 设置次数

最多可以创建和保存 30 个配方和 30 个步骤

D. 气体引入连接规格

1. 工艺气体

2 x 4/1 英寸世伟洛克卡套管连接,用于 Ar、H4、CH3

2. 载气

N2 或 AR φ6mm 推锁管连接 x 1

E. 安全装置

1. 过热

由安装在加热台上的热电偶控制

2. 外壳内部过热

从内部温度开关

3. 气压异常

从质量流量控制器

4. 真空减少

从真空传感器

F. 公用事业

权力

AC200V 单相 50/60Hz 13A

1. 工艺气体压力

最大 30psi 200sccm

2. 载气压力

60-80磅/平方英寸

G. 尺寸和重量

1. 尺寸

405毫米(宽) x 415毫米(深) x 280毫米(高)

2. 重量

约27公斤



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