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更新日期:2023-04-10
简要描述:
yutaka中小流量型压力控制设备L18H系列
L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 标准的块式压力调节器,专为设备制造商的集成供气系统而设计。 此外,作为L18产品的继承者,流动特性性能得到了极大的提高。
品牌 | 其他品牌 |
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yutaka中小流量型压力控制设备L18H系列
功能
低压1MPa以下
焊接规范金属垫片
配件集成规格
调节阀结构
针型
兼容气体
7类特殊高压气体腐蚀性气体,有毒气体
除外
标准流量
~60吨/分钟
yutaka中小流量型压力控制设备L18H系列
特点
适用气体 | 高纯度气体 |
入口压力 | 0.99MPa以下 |
调节压力 | 最大0.7MPa(量程规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa ) |
耐压压力 | 1.5MPa (入口侧) |
简历值 | 0.1 |
工作温度 | -10~+40°C |
外部泄漏 | 1×10-11Pa・m3/s・He (真空方式) |
质量 | 约0.36公斤 |
安装方式 | 使用背螺钉安装 |
L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 标准的块式压力调节器,专为设备制造商的集成供气系统而设计。 此外,作为L18产品的继承者,流动特性性能得到了极大的提高。
主体的焊接接头规格也是节省阀箱空间的理想选择。
流量约为之前产品L18系列的两倍(相同的平面间尺寸)
隔膜外部密封使用金属密封。