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yutaka中小流量型压力控制设备L18H系列 数显压力表

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更新日期:2023-04-10

简要描述:

yutaka中小流量型压力控制设备L18H系列
L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 标准的块式压力调节器,专为设备制造商的集成供气系统而设计。 此外,作为L18产品的继承者,流动特性性能得到了极大的提高。

yutaka中小流量型压力控制设备L18H系列 数显压力表
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yutaka中小流量型压力控制设备L18H系列

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L18H系列(中小流量型)


  • 功能

  • 低压1MPa以下
    焊接规范金属垫片
    配件集成规格

  • 调节阀结构

  • 针型

  • 兼容气体

  • 7类特殊高压气体腐蚀性气体,有毒气体

    除外

  • 标准流量

  • ~60吨/分钟

yutaka中小流量型压力控制设备L18H系列

  • 特点

    规范

    适用气体 高纯度气体
    入口压力 0.99MPa以下
    调节压力 最大0.7MPa(量程规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa
    耐压压力 1.5MPa (入口侧)
    简历值 0.1
    工作温度 -10~+40°C
    外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He (真空方式)
    质量 约0.36公斤
    安装方式 使用背螺钉安装
    • L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 标准的块式压力调节器,专为设备制造商的集成供气系统而设计。 此外,作为L18产品的继承者,流动特性性能得到了极大的提高。

    • 主体的焊接接头规格也是节省阀箱空间的理想选择。

    • 流量约为之前产品L18系列的两倍(相同的平面间尺寸)

    • 隔膜外部密封使用金属密封。



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