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yutaka高压标准半导体制造用压力控制设备 数显压力表

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更新日期:2023-04-10

简要描述:

yutaka高压标准半导体制造用压力控制设备L20系列
L20系列专为高压半导体工艺制造气体而设计,基本结构为外部金属密封和焊接接头,是一种具有优异外部泄漏和颗粒性能的产品。 此外,还提供多种选项来处理各种高纯度气体,使其成为气瓶柜的理想选择。

yutaka高压标准半导体制造用压力控制设备 数显压力表
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yutaka高压标准半导体制造用压力控制设备L20系列

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L20系列(高压标准流量型)


  • 功能

  • 高压
    焊接金属垫片配件

  • 调节阀结构

  • 针型

  • 兼容气体

  • 7类特殊高压气体腐蚀性气体,有毒气体

    除外

  • 标准流量

  • ~60吨/分钟

yutaka高压标准半导体制造用压力控制设备L20系列

  • 特点

    规范

    入口压力 14.8MPa以下(最大19.6MPa)
    调节压力 最大0.99MPa(量程规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa
    原始压力的波动 进口压力:每0.1MPa,调节压力变化0.00021MPa
    耐压压力 22.2MPa (入口侧)
    简历值 0.09
    工作温度 -10~+40°C
    外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He (真空方式)
    内部容积 4.67厘米(不包括3个压力表和配件)
    质量 约1.29公斤
    安装方式 使用前面板安装螺母或后螺钉进行安装(见外观)
    • L20系列专为高压半导体工艺制造气体而设计,基本结构为外部金属密封和焊接接头,是一种具有优异外部泄漏和颗粒性能的产品。 此外,还提供多种选项来处理各种高纯度气体,使其成为气瓶柜的理想选择。


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