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日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201 实验室冷水机

访问次数:310

更新日期:2023-07-31

简要描述:

日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201
适用于等离子刻蚀和其他半导体应用的机架式冷水机组

日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201 实验室冷水机
品牌 其他品牌 产地 进口
冷却方式 水冷式 仪器种类 分体式

日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201

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  • 1,200 瓦的冷却能力

  • ±0.05°C 温度稳定性/重复性

  • 工作温度范围:-10°C 至 80°C

  • 专为非常快速的响应而设计

  • 减少晶圆间的变化,消除晶圆效应

  • 比基于压缩机的冷水机组节能高达 80%

  • 采用热电技术,可靠性高,维护成本低

  • 设计简单 – 只有 2 个活动部件

  • 消除氟利昂和其他有害制冷剂,符合新的环境法规

  • 使用更少的设施水和昂贵的冷却剂,如氟惰性或高登

  • 紧凑的尺寸:多达 6 个 TR1201 系统适合 1 台压缩机冷水机组的空间

  • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系统

  • 通用电源 – 插入即可在世界任何地方使用

  • 等离子刻蚀、等离子灰、CMP 和其他工艺的解决方案

  • 辅助加热器可用于加热65°C以上

  • 询问我们的以旧换新优惠

日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201

规格


工作范围:
5°C 至 80°C(-10°C 至 80°C,带 N2 选项)
如果在 0°C 以下工作,则需要 LT 选件
环境温度:
10°C 至 40°C 无冷凝
稳定性/可重复性:
恒定负载下± 0.05°C(即使在接近环境温度时)
制冷量*:
~1,200 瓦 @ 20°C,20°C 设施用水
加热能力**:
~2,000 瓦 @ 20°C,20°C 设施用水
冷却液/工艺流体:
氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇
工艺流体接头:
1/2“ 世伟洛克(316 不锈钢)
泵:
无刷直流磁力驱动离心机
流量
14-18 升/分钟@ 20 psig(取决于工艺流体)
油箱容积:
5.7 升(1.5 加仑),带 2 个液位传感器
设施用水:
4-19 升/分钟(1-5 加仑/分钟)@ 10-35°C 过滤,处理过的再循环设施冷却水,pH 6.5 至 8.2
设施水配件:
1/2“ 世伟洛克(316 不锈钢)
N2/CDA(N2 选项)
500 sccm -30°C 露点或更低的 CDA 或 N2,
30-60 psig (2-4 bar),用于低温操作
接液材料:
工艺:铝,不锈钢和聚合物设施
:密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢
尺寸(宽 x 深 x 高):
19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U(48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米)
重量:
70 磅(31 千克)
电源输入:
200-240 VAC 1 相,50/60 Hz,最大 10 A
断路器:
16 安培 200-250 VAC 2 极,带 30 mA GFCI
远程EMO:
外部干接点
通信:
泛林, 应用材料公司, RS232, 其他
警报:
温度、液位、系统或组件
故障(显示、干接点和机器接口)
标准:
半 S2-0200,符合 F47 标准,CE
保证:
2 年
*注意:冷却能力会因配置和设施而异 水温/流速
**注意:80°C的加热能力非常有限。

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