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产地 |
进口 |
| 冷却方式 |
水冷式 |
仪器种类 |
分体式 |
日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201
1，200 瓦的冷却能力
±0.05°C 温度稳定性/重复性
工作温度范围：-10°C 至 80°C
专为非常快速的响应而设计
减少晶圆间的变化，消除晶圆效应
比基于压缩机的冷水机组节能高达 80%
采用热电技术，可靠性高，维护成本低
设计简单 – 只有 2 个活动部件
消除氟利昂和其他有害制冷剂，符合新的环境法规
使用更少的设施水和昂贵的冷却剂，如氟惰性或高登
紧凑的尺寸：多达 6 个 TR1201 系统适合 1 台压缩机冷水机组的空间
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系统
通用电源 – 插入即可在世界任何地方使用
等离子刻蚀、等离子灰、CMP 和其他工艺的解决方案
辅助加热器可用于加热65°C以上
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日本sscooling架式冷水机组ThermoRack 1201
规格
工作范围：
5°C 至 80°C（-10°C 至 80°C，带 N2 选项）
如果在 0°C 以下工作，则需要 LT 选件
稳定性/可重复性：
恒定负载下± 0.05°C（即使在接近环境温度时）
制冷量*：
~1，200 瓦 @ 20°C，20°C 设施用水
加热能力**：
~2，000 瓦 @ 20°C，20°C 设施用水
冷却液/工艺流体：
氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇
工艺流体接头：
1/2“ 世伟洛克（316 不锈钢）
流量
14-18 升/分钟@ 20 psig（取决于工艺流体）
油箱容积：
5.7 升（1.5 加仑），带 2 个液位传感器
设施用水：
4-19 升/分钟（1-5 加仑/分钟）@ 10-35°C 过滤，处理过的再循环设施冷却水，pH 6.5 至 8.2
设施水配件：
1/2“ 世伟洛克（316 不锈钢）
N2/CDA（N2 选项）
500 sccm -30°C 露点或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低温操作
接液材料：
工艺：铝，不锈钢和聚合物设施
：密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢
尺寸（宽 x 深 x 高）：
19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）
电源输入：
200-240 VAC 1 相，50/60 Hz，最大 10 A
断路器：
16 安培 200-250 VAC 2 极，带 30 mA GFCI
通信：
泛林， 应用材料公司， RS232， 其他
警报：
温度、液位、系统或组件
故障（显示、干接点和机器接口）
标准：
半 S2-0200，符合 F47 标准，CE
