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| 冷却方式 |
水冷式 |
仪器种类 |
分体式 |
sscooling半导体冷水机组ThermoRack 1801
设计简单 – 只有 2 个活动部件
消除氟利昂和其他有害制冷剂，符合新的环境法规
使用更少的设施水和昂贵的冷却剂，如氟惰性或高登
紧凑的尺寸：多达 6 个 TR1801 系统适合 1 台压缩机冷水机组的空间
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系统
通用电源 – 插入即可在世界任何地方使用
等离子刻蚀、等离子灰、CMP 和其他工艺的解决方案
sscooling半导体冷水机组ThermoRack 1801
规格
工作范围：
-20°C 至 80°C（需要 N2/CDA）
LT 在低于 0°C 时需要选件
稳定性/可重复性：
恒定负载下± 0.05°C（即使在接近环境温度时）
制冷量*：
1，600-2，000 瓦 @ 20°C，20°C 设施用水
，具体取决于冷板和工艺流体
加热能力**：
3，000-3，400 瓦 @ 20°C，20°C 设施用水
，具体取决于冷板和工艺流体
冷却液/工艺流体：
氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇
工艺流体接头：
1/2“ 世伟洛克 1/2" 世伟洛克（316 不锈钢）
油箱容积：
5.7 升（1.5 加仑），带 2 个液位传感器
设施用水：
8-12 升/分钟（2-3 加仑/分钟）@ 10-35°C 过滤、处理过的再循环设施冷却水，pH 6.5 至 8.2
设施水配件：
1/2“ 世伟洛克（316 不锈钢）
N2/CDA （必需）：
500 sccm -30°C 露点或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低温操作
接液材料：
工艺：铝，不锈钢和聚合物设施
：密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢
尺寸（宽 x 深 x 高）：
19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）
电源输入：
200-240 VAC 1 相，50/60 Hz，最大 10 A
断路器：
16 安培 200-250 VAC 2 极，带 30 mA GFCI
通信：
泛林， 应用材料公司， RS232， 其他
警报：
温度、液位、系统或组件
故障（显示、干接点和机器接口）
标准：
半 S2-0200，符合 F47 标准，CE
