| 品牌 |
其他品牌 |
产地 |
进口 |
| 冷却方式 |
水冷式 |
仪器种类 |
分体式 |
日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K
稳定性/可重复性：
恒定负载下± 0.05°C（即使在接近环境温度时）
制冷量*：
尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 设施用水） 尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 设施用水）
冷却液/工艺流体：
针对氟惰性/高登或HFE流体进行设置
提供可选的乙二醇/水配置
工艺流体接头：
3/4“ 世伟洛克（316 不锈钢）
流量：
高达 10 加仑/分钟（38 升/分钟），流量和
压力可调（10 至 100 psig）
油箱容积：
10 升（2.6 加仑），带 2 个液位传感器
设施用水：
25 升/分钟（6 加仑/分钟）@ 7-25°C 过滤，处理过的循环设施冷却水，pH 6.5 至 8.2
设施水配件：
3/4“ 世伟洛克（316 不锈钢）
N2/CDA（必需）：
500 sccm -30°C 露点或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低温操作
接液材料：
工艺：铝，不锈钢和聚合物设施
：密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢
尺寸（宽 x 深 x 高）：
22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）
电源输入：
200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A
断路器：
20/30 安培 480 VAC 3 极，带 GFCI
通信：
泛林， 应用材料公司， RS232， 其他
警报：
温度、液位、系统或组件
故障（显示、干接点和机器接口）
标准：
半 S2-0200，符合 F47 标准，CE
