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日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K 实验室冷水机

访问次数:339

更新日期:2023-07-31

简要描述:

日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K
用于等离子刻蚀和其他半导体应用的高容量热电冷水机组

日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K 实验室冷水机
品牌 其他品牌 产地 进口
冷却方式 水冷式 仪器种类 分体式

日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K

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  • 我们专为半导体加工而设计的最高容量冷水机组

  • 3,000 或 5,000 瓦的冷却能力

  • ±0.05°C 温度稳定性/重复性

  • 两种泵选项,流量高达 10 gpm,压力高达 100+ psig

  • 减少晶圆间的变化,消除晶圆效应

  • 比基于压缩机的冷水机组节能高达 80%

  • 采用热电技术,可靠性高,维护成本低

  • 模块化设计,易于维护

  • 消除氟利昂和其他有害制冷剂,符合新的环境法规

  • 使用更少的设施水和昂贵的冷却剂,如氟惰性或高登

  • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系统

  • 通用电源 – 插入即可在世界任何地方使用

  • 等离子蚀刻、等离子灰分、计量、CMP 和其他工艺的解决方案

规格

工作范围:
-10°C 至 80°C
环境温度:
10°C 至 40°C 无冷凝
稳定性/可重复性:
恒定负载下± 0.05°C(即使在接近环境温度时)
制冷量*:
尼古拉 3K:3000 瓦 @ 20°C(20°C 设施用水) 尼古拉 5K:5000 瓦 @ 20°C(20°C 设施用水)
冷却液/工艺流体:
针对氟惰性/高登或HFE流体进行设置
提供可选的乙二醇/水配置
工艺流体接头:
3/4“ 世伟洛克(316 不锈钢)
泵:
磁耦合涡轮机(高功率或高功率)
流量:
高达 10 加仑/分钟(38 升/分钟),流量和
压力可调(10 至 100 psig)
油箱容积:
10 升(2.6 加仑),带 2 个液位传感器
设施用水:
25 升/分钟(6 加仑/分钟)@ 7-25°C 过滤,处理过的循环设施冷却水,pH 6.5 至 8.2
设施水配件:
3/4“ 世伟洛克(316 不锈钢)
N2/CDA(必需):
500 sccm -30°C 露点或更低的 CDA 或 N2,
30-60 psig (2-4 bar),用于低温操作
接液材料:
工艺:铝,不锈钢和聚合物设施
:密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢
尺寸(宽 x 深 x 高):
22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸(56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米)
重量:
~300 磅(136 千克)干
电源输入:
200-240 VAC 3 相,50/60 Hz,最大 20/30 A
断路器:
20/30 安培 480 VAC 3 极,带 GFCI
远程EMO:
外部干接点
通信:
泛林, 应用材料公司, RS232, 其他
警报:
温度、液位、系统或组件
故障(显示、干接点和机器接口)
标准:
半 S2-0200,符合 F47 标准,CE
保证:
2 年



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