lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C 便携式超声波流量计

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更新日期：2023-08-04

简要描述：

lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C
用于半导体工艺的高性能质量流量控制器EtherCAT通信版本。它是半合规的，可以通过EtherCAT通信进行控制，EtherCAT通信用于半导体制造设备的高速传输系统。

品牌	其他品牌	类型	超声波
测量范围	1m³/h

lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C

用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。

用于半导体工艺的高性能质量流量控制器EtherCAT通信版本。它是半合规的，可以通过EtherCAT通信进行控制，EtherCAT通信用于半导体制造设备的高速传输系统。

半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC的原始环境温度补偿流量传感器作为标准安装，并且可以作为液化气支架等选项添加。

特点

越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信（数字I / F），用于高速控制机械臂等运输系统。 EtherCAT通信有65，536个节点，MFC的所有测量系统和运动系统元件都可以与EtherCAT通信统一。

lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C

温度	最小压差	最大压差	精度	控制范围	低标准	最高 F.S.	sdaM
15~35°C	50kPa	300kPa	±1%自保	2~100%F.S.	10SCCM	300SLM	金

* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。可以通过选项进行更改。