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日本lintec小型燃气加热器 HX-0020 喷头

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更新日期:2023-08-07

简要描述:

日本lintec小型燃气加热器 HX-0020
紧凑型紧凑型气体加热,最高加热温度为200°C。

日本lintec小型燃气加热器 HX-0020 喷头
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日本lintec小型燃气加热器 HX-0020

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紧凑型紧凑型气体加热,最高加热温度为200°C。

特点

  • 设计紧凑,面之间 160 mm ×宽 55 mm

  • 加热 N2 气体 10SLM 至 200°C

  • 能够加热不腐蚀气体接触材料的气体(SUS316L)

  • 也可在真空和加压下使用

使用示例

原子层沉积和 CVD 设备热吹扫

液化气体通常用于ALD和CVD等真空沉积,但用室温气体吹扫会使温度冷却并冷凝,相反,吹扫可能不足。 这就是热吹扫的用武之地。 紧凑型气体加热器 (HX-0020) 的占地面积与 MFC 没有太大区别,可以加热到 200°C,使气体加热接近使用点,使其成为 ALD 和 CVD 等真空沉积设备热吹扫的理想选择。

日本lintec小型燃气加热器 HX-0020

规格



流量(N2当量) 压降 (N2) 耐压 (G) 工作温度 气体接触部件材料
规范 10SLM 14kPa 1兆帕 200°C 不锈钢316L






* 有关小型燃气加热器和小型换热器的详细规格,请直接与我们联系。



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